Kaip sausojo ledo pūtimas transformuoja puslaidininkių gamybą

Spartiame{0}}puslaidininkių gamybos pasaulyje švara yra viskas. Netgi dėl 1 mikrono-daug mažesnės už dulkių grūdelį-dalelės gali sugesti lustas, todėl gali atsirasti brangių defektų ir išmesti gaminiai. Kadangi lustų funkcijos susilpnėja iki nanomastelio lygio, itin-švarios gamybos aplinkos paklausa niekada nebuvo didesnė.

Tradiciniai puslaidininkių valymo metodai, tokie kaip šlapias cheminis valymas, ultragarsinės vonios ar ėsdinimas plazmoje, pasitarnavo pramonei, tačiau vis dažniau nepasiseka. Taikant šiuos metodus dažnai naudojamos stiprios cheminės medžiagos, susidaro antrinės atliekos, reikalaujama ilgo įrangos aušinimo ir kyla pavojus sugadinti subtilius komponentus-. Visa tai reiškia ilgesnę prastovą, didesnes išlaidas ir aplinkosaugos problemas.

Čia sausojo ledo pūtimas iškyla kaip žaidimą{0}}keičiantis sprendimas. Ši naujoviška, ne-abrazyvinė valymo technologija greitai tampa pageidaujamu puslaidininkių gamybos tikslios įrangos priežiūros metodu. Šiame straipsnyje išsiaiškinsime, kaip sauso ledo pūtimas užtikrina valymą be likučių-, padidina gamybos efektyvumą ir padeda gamintojams pasiekti griežtus kokybės ir tvarumo tikslus.

Kas yra sauso ledo pūtimas?

Sausojo ledo pūtimas(taip pat žinomas kaipCO₂ sprogdinimas) yra paprastas, bet galingas valymo procesas. Jame naudojamos kietos CO₂ dalelės{1}}sausojo ledo granulės, atšaldytos iki -78 laipsnių, kurios varomos dideliu greičiu naudojant suslėgtą orą.

Po smūgio sauso ledo dalelės akimirksniu sublimuoja, iš kietos medžiagos tiesiai virsdamos dujomis. Šis greitas plėtimasis pašalina teršalus nuo paviršiaus dėl kinetinės energijos ir terminio šoko derinio, nepalikdamas jokių likučių.

Pagrindiniai sauso ledo valymo pranašumai yra šie:

• Ne{0}}abrazyvinis: švelnus švelniems paviršiams, apsaugo nuo įbrėžimų ar ėsdinimo.
• Be likučių-: nėra antrinių atliekų, nes sausas ledas tiesiog išnyksta į dujas.
• Jokių chemikalų: Nereikia naudoti tirpiklių ar stiprių medžiagų.
• Nekenksmingas aplinkai: naudoja perdirbtą CO₂ ir nesukuria papildomų atliekų srautų.

Štai greitas palyginimas su įprastais tradiciniais puslaidininkių valymo metodais:

Kaip matote, sausojo ledo pūtimas išsiskiria švariu ir efektyviu profiliu,{0}}todėl jis idealiai tinka puslaidininkių gamybos tikslumo reikalavimams.

Sausojo ledo pūtimo taikymas puslaidininkių gamyboje

Sausojo ledo pūtimas yra universalus ir puikiai tinka daugelyje svarbių puslaidininkių gamybos sričių, kur net nedidelis užterštumas gali sugadinti derlių. Štai keletas pagrindinių programų:

• Fotorezisto pašalinimas iš plokštelių: švelniai pašalina organinius likučius ir lengvus fotorezisto sluoksnius nepažeidžiant trapių plokštelių paviršių.
• Formų ir tvirtinimo detalių valymas: pašalina vaško sankaupas, dujų likučius ir teršalus iš įpurškimo formų ir įrankių, naudojamų drožlių pakavimui.
• Nusodinimas ir dujų likučių pašalinimas: išvalo susikaupusias medžiagas nuo proceso įrankių neįnešdama drėgmės ar dalelių.
• Vakuuminės kameros, nusodinimo patalpos ir ėsdinimo įrangos valymas: giliai{0}}išvalo jautrias patalpas, įskaitant CVD reaktorius ir poliravimo įrankius, išsaugant tikslią geometriją.
• Vaflių tvarkymo sistemos ir konvejerio priežiūra: apsaugo robotų rankas, perdavimo diržus ir kitas judančias dalis nuo dulkių ir šiukšlių.

Šios tikslaus valymo užduotys yra labai naudingos dėl ne{0}}laidaus ir sauso sauso ledo pobūdžio, leidžiančio valyti švariose patalpose nerizikuojant su elektrostatinėmis iškrovomis ar su drėgme{1}}susijusiomis problemomis.

Kaip sausojo ledo pūtimas transformuoja puslaidininkių gamybą

Tikroji sausojo ledo pūtimo galia slypi jo gebėjime įveikti didžiausias pramonės problemas. Štai kaip tai skatina reikšmingus pokyčius:

Žymiai sumažina įrangos prastovos laiką

Tradiciniam valymui dažnai reikia aušinimo įrangos, išmontavimo ir ilgesnio džiovinimo laiko. Sausojo ledo pūtimas dažnai gali būti atliekamas-vietoje ir internetu, todėl valymo ciklai sutrumpėja nuo kelių valandų iki minučių ir sumažinama gamybos pertrūkių.

Pagerina drožlių išeigą ir gamybos efektyvumą

Kruopščiau ir nuosekliau pašalindami teršalus, valymas sausu ledu padeda sumažinti defektus ir perdirbti. Gamintojai praneša apie didesnį pralaidumą ir geresnį bendrą įrangos efektyvumą.

Tikrai ne{0}}abrazyvinis jautrių komponentų valymas

Gležnos plokštelės, fotokaukės ir įrankiai lieka nepažeisti, išsaugant griežtus paklaidas, būtinas pažangiems mazgams (pvz., 3 nm ir mažesniems).

Atitinka griežtus aplinkosaugos reikalavimus ir ESG tikslus

Be chemikalų, be nuotekų ir antrinių atliekų, sausojo ledo pūtimas palaiko ekologišką valymą-, atitinkantį augančius tvarumo reikalavimus puslaidininkių gamyboje.

Palyginti su tradiciniais metodais, sutaupoma daug išlaidų

Mažesni darbo jėgos poreikiai, mažesni mokesčiai už atliekų šalinimą, mažesnis įrangos susidėvėjimas ir trumpesnės prastovos prisideda prie įspūdingo sausojo ledo pūtimo išlaidų taupymo.

Realiame{0}}pasaulyje patalpų valymo laikas sumažėjo iki 70 %, o tai atitinkamai padidino derlių ir veiklos efektyvumą.

Realaus-pasaulio atvejų tyrimai ir duomenys

Sausojo ledo pūtimo pranašumai puslaidininkių gamyboje yra ne tik teoriniai{0}}pirmaujantys įrenginiai visame pasaulyje, jau dabar mato įspūdingus rezultatus.

• 1 atvejis: pagrindinė plokštelių gamybos įmonė

Pasaulyje pirmaujanti liejykla savo nusodinimo kameras ir įrankius pradėjo valyti sausu ledu. Įrangos valymo laikas labai sumažėjo-nuo maždaug 8 valandų naudojant tradicinius metodus iki vos 2 valandų. Dėl to 70 % sutrumpėjo prastovos laikas, o tai leidžia atlikti daugiau gamybos ciklų ir žymiai padidinti našumą.

• 2 atvejis: fotorezistas ir likučių pašalinimas

Kitoje įrenginyje, kuriame daugiausia dėmesio skiriama pažangiems mazgams, sausojo ledo pūtimas pagerino fotorezisto pašalinimo efektyvumą iki 3 kartų, palyginti su šlapiais cheminiais procesais. Defektų lygis pastebimai sumažėjo, o tai prisidėjo prie geresnės bendros lustų kokybės ir mažiau atmestų plokštelių.

Pramonės atsiliepimai ir ataskaitos patvirtina šiuos laimėjimus: daugelis puslaidininkių operacijų, naudojant sauso ledo pūtimą, pagerina 15-25 %, valymo sąnaudas sumažino 30-50 %, o dėl valymo vietoje. Šie realūs rezultatai pabrėžia patikimą, išmatuojamą šios technologijos poveikį efektyvumui ir pelningumui.

Kodėl sauso ledo pūtimas pakeičia tradicinius metodus

Kadangi puslaidininkiniai procesai skatina tobulėti, -pavyzdžiui, 3 nm ir 2 nm mazgai-, tolerancija užterštumui sumažėja beveik iki nieko. Tradiciniams valymo metodams sunku neatsilikti, o valymas sausuoju ledu tampa tinkamiausiu tikslumo ir tvarumo standartu.

Štai paprastas palyginimas:

Sauso ledo pūtimas laimi, nes jis užtikrina kruopštų valymą be senesnių metodų trūkumų. Tai leidžia išvengti antrinių atliekų, pašalina stiprias chemines medžiagas ir apsaugo subtilią įrangą,{1}}tobulai tinkančią puslaidininkių valymo technologijų tendencijoms, reikalaujančioms didesnio grynumo, mažesnio poveikio aplinkai ir minimalių gamybos pertrūkių.

Kaip pasirinkti tinkamą sausojo ledo pūtimo įrangą puslaidininkių gamybai

Pasirinkus geriausią puslaidininkinio sausojo ledo valymo įrangą, reikia pritaikyti įrenginį prie jūsų konkrečių poreikių didelio-tikslumo aplinkoje.

Pagrindiniai veiksniai, į kuriuos reikia atsižvelgti:

• Slėgio valdymo tikslumas: žemi ir reguliuojami nustatymai (iki labai švelnaus lygio), kad būtų galima saugiai išvalyti jautrias plokšteles, kaukes ir kameras be jokios žalos pavojaus.
• Dalelių dydžio reguliavimas: sistemos, leidžiančios keisti sauso ledo dalelių dydį viskam, nuo lengvo paviršiaus dulkėjimo iki gilesnio teršalų pašalinimo.
• Suderinamumas su švariomis patalpomis: HEPA filtravimas, ne{0}}laidžios medžiagos ir konstrukcijos, neleidžiančios patekti į daleles.
• Automatizavimo lygis: robotų integravimo ar rankinių įrenginių parinktys, atsižvelgiant į tai, ar valote eilėje-, ar priežiūros metu.

Daugeliui puslaidininkių pritaikymo tikslūs žemo slėgio{0}}sausojo ledo pūtikliai yra idealūs. Šios mašinos siūlo tiksliai-sureguliuotą valdymą, patikimą veikimą švariose patalpose ir efektyvų sauso ledo naudojimą,-kuris padeda išlaikyti griežtus leistinus nuokrypius ir užtikrinti sklandų darbą.

Ieškote patikimo sauso ledo pūtimo mašinos gamintojo?

YJCO2 yra Kinijos pirmaujanti sausojo ledo pūtimo mašinų gamintoja, kuria pasitiki daugiau nei 3 000 klientų visame pasaulyje,{3}}įskaitant daugiau nei 70 Kinijos bendrovių, įtrauktų į viešuosius sąrašus. Kaip patvirtintas „Foxconn“ tiekėjas ir vienintelis „China Aerospace“ elektroniniam prekybos centrui pasirinktas sauso ledo valymo prekės ženklas, YJCO2 yra pripažintas dėl įrodyto patikimumo aukštųjų -technologijų aplinkoje.

YJ-09 pramoninė sauso ledo valymo mašina - Idealiai tinka puslaidininkių valymui:

• Kompaktiška konstrukcija (75×56×95 cm, 80 kg) su ratukais, kad būtų lengva judėti ankštose švariose patalpose.
• Galingas 500 W importuotas variklis, kuris padvigubina ledo išėjimo greitį ir slėgį, palyginti su standartiniais modeliais.
• Individualizuota žemai -temperatūrai-atspari 38 mm žarna ir visiškai -aliuminio plokščias-burnos antgalis, užtikrinantis pastovų, didelį{5}}sausojo ledo tūrį.
• Lanksčios valdymo parinktys: pedalas, rankinis, nuotolinio valdymo pultas arba IO integracija.
• Platus įtampos suderinamumas (110-240V), skirtas pasauliniam naudojimui.

Susisiekite su mumis dabar dėl konkurencingos kainos!

Išvada

Sausojo ledo pūtimas iš esmės keičia puslaidininkių gamybos valymą. Tai yra greitesnis, saugesnis, be likučių{1}}būdas prižiūrėti įrangą, padidinti derlių, sumažinti prastovų laiką ir atitikti griežtus aplinkosaugos standartus-, kartu apsaugant subtilius komponentus.

Jei norite padidinti efektyvumą, sumažinti išlaidas ir užtikrinti aukštesnę produktų kokybę savo gamybos linijoje, tai gali būti puslaidininkinis sauso ledo valymo sprendimas, kurio ieškojote.

Norite sužinoti, ar sausojo ledo pūtimas tinka jūsų sąrankai? Susisiekite su mumis dėl nemokamo-svetainės įvertinimo ar įrangos demonstravimo-esame čia, kad padėtume ištirti galimybes.